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承繼傳統技術優勢 東芝發力SiC功率器件

來源: 中電網
2020-10-13
類別:技術信息
eye 24
文章創建人 拍明

原標題:承繼傳統技術優勢 東芝發力SiC功率器件

在新能源汽車、光伏逆變器、工業電機驅動等高功率密度、高效率需求場景下,碳化硅(SiC)功率器件正逐步取代傳統硅基(Si)器件,成為功率半導體領域的核心發展方向。作為全球功率半導體領域的傳統巨頭,東芝依托其深厚的技術積累與產業優勢,正加速布局SiC功率器件賽道,試圖在下一代電力電子技術競爭中占據先機。


一、東芝的傳統技術優勢:SiC器件研發的堅實基礎

1. 功率半導體技術積淀

  • IGBT與MOSFET先驅:東芝自1980年代起即投入IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)研發,是全球首家實現IGBT量產的企業,其“平面柵結構IGBT”技術至今仍是行業主流。

  • Si基功率器件龍頭:東芝在Si基MOSFET、二極管等領域長期占據全球前三市場份額,年出貨量超百億顆,技術成熟度與供應鏈控制力行業領先。

2. 材料與工藝協同創新

  • SiC外延片技術:東芝與日本信越化學(Shin-Etsu)等材料企業深度合作,開發出低缺陷密度、高均勻性的SiC外延片,晶體缺陷率低于0.1/cm2,遠低于行業平均水平(0.5~1/cm2)。

  • 高溫封裝技術:東芝的“直接鍵合銅”(DBC)基板與“銀燒結”工藝,可承受SiC器件高達200℃的工作溫度,壽命較傳統焊料封裝延長3倍以上。


二、東芝SiC功率器件的核心技術突破

1. SiC MOSFET:低導通電阻與高可靠性

  • 第三代SiC MOSFET:東芝最新推出的“TSC143M系列”SiC MOSFET,導通電阻(Rds(on))低至2.5mΩ(@Vgs=18V),較上一代產品降低30%,效率提升2個百分點。

  • 柵極氧化層優化:通過“氮摻雜氧化層”技術,柵極氧化層可靠性提升5倍,擊穿電壓達1700V,滿足新能源汽車800V高壓平臺需求。

2. SiC二極管:低反向恢復損耗

  • JBS(結勢壘肖特基)二極管:東芝的“TRS16H06”系列SiC二極管,反向恢復時間(trr)僅25ns,較Si基快恢復二極管(FRD)縮短90%,反向恢復電荷(Qrr)降低80%,顯著減少高頻開關損耗。

3. 模塊化集成:SiC功率模塊

  • 全SiC功率模塊:東芝的“TM6H120S”模塊集成6顆SiC MOSFET與6顆SiC二極管,封裝體積縮小40%,功率密度提升至50kW/L,適用于新能源汽車主驅逆變器。

  • 雙面散熱技術:通過“直接液冷散熱”設計,模塊熱阻降低至0.1K/W,較傳統單面散熱模塊效率提升15%。


三、東芝SiC器件的市場戰略與競爭格局

1. 目標市場與應用場景


市場領域典型應用東芝優勢
新能源汽車主驅逆變器、OBC(車載充電機)高壓SiC模塊體積小、效率高
光伏逆變器集中式/組串式逆變器SiC二極管降低系統損耗10%以上
工業電機驅動伺服驅動器、變頻器SiC MOSFET高頻特性提升電機效率
充電樁150kW以上超充樁SiC功率模塊減少散熱成本30%

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2. 競爭對比:東芝VS國際對手

  • 與英飛凌(Infineon)對比

    • 東芝在SiC二極管技術成熟度上略勝一籌,反向恢復損耗更低;

    • 英飛凌在SiC MOSFET柵極驅動芯片集成度更高,但東芝的模塊封裝散熱性能更優。

  • 與羅姆(ROHM)對比

    • 羅姆在SiC晶圓產能上占據優勢(全球份額約20%),但東芝的工藝良率更高(95% vs 90%),成本更具競爭力。

3. 產能擴張與供應鏈保障

  • 日本姬路工廠:東芝計劃投資200億日元(約1.5億美元)擴建SiC產線,產能提升至2025年的50萬片/年(6英寸晶圓)。

  • 垂直整合戰略:通過控股日本電化(Denka)等SiC材料企業,東芝實現了從襯底、外延到器件的全產業鏈自主可控。


四、東芝SiC器件的商業化進展與客戶案例

1. 新能源汽車領域

  • 豐田bZ4X:東芝SiC功率模塊應用于其主驅逆變器,系統效率提升至97%,續航里程增加5%。

  • 特斯拉Model 3:東芝為特斯拉早期SiC逆變器提供SiC二極管,助力其實現15分鐘快充(250kW)。

2. 光伏逆變器領域

  • 華為SUN2000系列:采用東芝SiC二極管的光伏逆變器,轉換效率達98.8%,較傳統Si基逆變器提升1.2個百分點。

  • 陽光電源SG3125HV:東芝SiC模塊助力其實現3.125MW集中式逆變器,功率密度行業領先。

3. 工業電機驅動領域

  • 安川電機Σ-7系列伺服:集成東芝SiC MOSFET的驅動器,開關頻率提升至100kHz,電機響應速度提升3倍。

  • 西門子SINAMICS G120:采用東芝SiC模塊的變頻器,在40℃環境溫度下仍可滿載運行。


五、挑戰與未來:東芝的SiC之路能否持續領跑?

1. 技術挑戰

  • SiC晶圓成本:當前6英寸SiC晶圓價格是同尺寸Si晶圓的10倍以上,東芝需通過更大尺寸晶圓(8英寸)與工藝優化降低成本。

  • 高溫封裝可靠性:SiC器件工作溫度達200℃以上,封裝材料(如焊料、基板)的長期可靠性仍需驗證。

2. 市場挑戰

  • 中國廠商崛起:三安光電、士蘭微等中國企業通過低價策略搶占中低端市場,東芝需在高端市場鞏固壁壘。

  • 標準制定權爭奪:SiC器件的測試標準、封裝規范尚未統一,東芝需聯合國際組織(如JEDEC)推動標準化。

3. 未來戰略

  • 技術迭代:開發第四代SiC MOSFET,目標導通電阻降至1.5mΩ以下,柵極電荷(Qg)降低50%。

  • 生態合作:與特斯拉、豐田等車企共建SiC器件測試平臺,加速產品導入周期。

  • 8英寸晶圓布局:計劃2026年實現8英寸SiC晶圓量產,成本較6英寸降低40%。


六、結語:東芝的SiC野心與行業影響

東芝依托其在功率半導體領域的傳統優勢,正通過材料創新、工藝優化與生態合作,加速SiC功率器件的商業化落地。盡管面臨成本、競爭與標準化的挑戰,但東芝在SiC MOSFET與模塊封裝技術上的領先地位,使其有望在新能源汽車、光伏逆變器等高增長市場中持續受益。未來,隨著8英寸晶圓產能的釋放與第四代SiC器件的量產,東芝或將重新定義功率半導體的技術邊界與市場格局。

一句話總結:東芝的SiC之路,是傳統巨頭的自我革新,更是下一代電力電子技術的必爭高地。


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標簽: 功率器件

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