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KLA發布全新汽車產品組合以提高芯片良率及可靠性

來源: 中電網
2021-06-24
類別:業界動態
eye 14
文章創建人 拍明

原標題:KLA發布全新汽車產品組合以提高芯片良率及可靠性

KLA公司確實發布了全新汽車產品組合以提高芯片良率及可靠性,以下是關于這一產品組合的詳細介紹:

一、產品組合概述

KLA公司發布的全新汽車產品組合包括四款主要產品:

  1. 8935高產能圖案晶圓檢測系統

  2. C205寬波段等離子圖案晶圓檢測系統

  3. Surfscan? SP A2/A3無圖案晶圓檢測系統

  4. I-PAT?在線缺陷部件平均測試篩選解決方案

二、產品特點與功能

  1. 8935高產能圖案晶圓檢測系統

    • 采用新的光學技術和DefectWise? AI解決方案。

    • 能夠以低噪比率捕獲各種關鍵缺陷,并快速準確地識別可能影響芯片最終質量的工藝偏差。

  2. C205寬波段等離子圖案晶圓檢測系統

    • 采用了寬波段光譜和NanoPoint?技術。

    • 對于關鍵缺陷高度靈敏,有助于加快新工藝和器件的優化。

  3. Surfscan? SP A2/A3無圖案晶圓檢測系統

    • 結合了DUV光學系統和先進算法。

    • 靈敏度和速度足以在汽車芯片上識別并消除可能產生可靠性問題的工藝缺陷,同時確保工藝設備以最佳性能運行。

  4. I-PAT?在線缺陷部件平均測試篩選解決方案

    • 運行于KLA檢測和數據分析系統中。

    • 從高速8系列檢測儀(如8935或Puma?激光掃描檢測儀)在關鍵工藝步驟中采集的所有晶圓數據中提取缺陷特征。

    • 利用SPOT?量產平臺上的定制機器學習算法和Klarity?缺陷管理系統的統計分析功能來辨別異常的缺陷,從而可以從供應鏈中剔除有風險的芯片。

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三、產品組合的意義與應用

  1. 提高芯片良率與可靠性

    • KLA的全新檢測系統以及在線篩選解決方案專為生產汽車芯片的晶圓廠量身定制。

    • 在芯片制造的源頭偵測可能影響可靠性的缺陷,并為在線篩選提供創新的解決方案。

    • 協助晶圓廠以高良率制造質量優良且高度可靠的芯片,同時最大限度地提高產能。

  2. 滿足汽車行業對芯片的高標準要求

    • 汽車行業在電氣化、互聯性、高級駕駛輔助和自動駕駛等領域的創新推動了半導體芯片的需求。

    • 芯片在車輛駕駛和安全應用中的核心地位使其可靠性至關重要,因此汽車芯片必須符合嚴格的質量標準。

    • KLA的產品組合有助于確保汽車芯片滿足這些高標準要求。

  3. 推動汽車電子生態系統的發展

    • KLA致力于確保汽車行業實現嚴格的電子質量標準。

    • 新產品擴充了KLA全方位的檢測、量測、數據分析和工藝系統組合,為汽車電子生態系統提供多方位的支持。

綜上所述,KLA發布的全新汽車產品組合在提高芯片良率及可靠性方面具有重要意義,有助于滿足汽車行業對芯片的高標準要求,并推動汽車電子生態系統的發展。


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