原標題：國內首臺關鍵尺寸量測設備出機中芯國際，面向 300mm（12 英寸）硅片工藝制程

國內首臺關鍵尺寸量測設備（CD-SEM）已成功出機給中芯國際，這臺設備面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，具有里程碑式的意義。以下是對該事件的詳細分析：

一、設備詳情

• 型號：SEpA-c410

• 制造商：東方晶源

• 面向工藝制程：300mm（12英寸）硅片工藝制程

• 技術特點：通過先進的電子束成像系統和高速硅片傳輸方案，搭配精準的量測算法，可實現高重復精度、高分辨率及高產能的關鍵尺寸量測。

二、合作背景與意義

• 合作雙方：東方晶源與中芯國際

• 合作意義：

• 對于東方晶源來說，此次合作標志著其在芯片制造關鍵環節的良率控制和提升領域取得了重大技術突破，填補了國產關鍵尺寸量測設備的市場空白。這有助于東方晶源進一步打開國內市場，提高營收，并促進產業鏈條的調整、升級和完善。

• 對于中芯國際來說，獲得國內首臺關鍵尺寸量測設備有助于其實現技術去美化，緩解在芯片制造過程中被國外技術“卡脖子”的壓力。同時，這也將提升中芯國際在芯片制造領域的競爭力，為其生產高良品率的芯片提供有力支持。

• 對于我國半導體行業來說，東方晶源成功打破技術瓶頸，制備出國內首臺關鍵尺寸測量設備，彌補了我國在芯片代工檢測環節中的空白，為國產半導體供給鏈增添了一份力量。

三、設備應用與影響

• 應用環節：關鍵尺寸量測設備在芯片制造過程中起著至關重要的作用。它能夠對有效制程效力范圍內的各項環節進行工藝評定，如薄膜厚度是否符合制程標準、芯片在完成刻蝕流程環節后是否會影響硅片電性參數等。

• 影響：

• 提升芯片制造良率：通過精準的關鍵尺寸量測，可以及時發現并糾正制造過程中的問題，從而提升芯片制造的良率。

• 促進技術創新與產業升級：東方晶源的成功經驗將激勵更多國內企業投入研發，推動半導體制造技術的創新與產業升級。

• 增強國際競爭力：隨著國產關鍵尺寸量測設備的不斷成熟和完善，我國半導體行業在國際市場上的競爭力將得到進一步提升。

綜上所述，國內首臺關鍵尺寸量測設備出機中芯國際是半導體制造領域的一項重要里程碑事件。它不僅標志著我國在芯片制造關鍵環節的技術突破和產業升級，還將為中芯國際等國內芯片制造商提供有力支持，推動我國半導體行業在國際市場上取得更大的成功。