原標題：MEMS振蕩器的原理是什么?MEMS振蕩器為何代替晶體振蕩器?

MEMS振蕩器的工作原理基于微機電系統的機械振動理論和電學驅動原理。其主要包括機械振動結構和電路驅動系統兩部分：

1. 機械振動結構：通常由微型懸臂梁、懸浮質量塊或薄膜等組成。當施加外部電場或電流時，這些結構會產生固有頻率的機械振動。這種振動通過耦合電路傳遞到輸出端口，形成穩定的振蕩信號。

2. 電路驅動系統：用于提供能量并控制機械振動結構的振幅和頻率。它通常包括電容、電感和放大器等元件。當電路驅動系統與機械振動結構相耦合時，可以實現對振蕩頻率的控制和調整。

綜上所述，MEMS振蕩器通過將機械振動和電路驅動相結合，實現了穩定的振蕩信號的產生和控制。

MEMS振蕩器為何代替晶體振蕩器

MEMS振蕩器逐漸代替晶體振蕩器的原因主要有以下幾點：

1. 電磁干擾（EMI）敏感度低：

• MEMS振蕩器對EMI的敏感度遠低于晶體振蕩器。這是因為集成振蕩器在諧振器和振蕩器IC之間沒有暴露的PCB連接，連接諧振器和IC的鍵合線或焊球非常短，從而減少了噪聲耦合的可能性。

2. 抗振性強：

• MEMS諧振器的質量遠低于石英諧振器，這使得在相同加速度下，施加在MEMS結構上的力更小，因此頻移也更低。這對于需要抵抗環境振動（如風、重型車輛和火車等）的應用尤為重要。

1. 頻率靈活性和快速供應：

• MEMS振蕩器的輸出頻率可以通過編程PLL（相位鎖定環）來實現，具有非常寬的頻率范圍和六位數精度。而晶體振蕩器的頻率選項通常受限于石英晶體的切割和封裝。

• MEMS振蕩器的生產基于標準半導體工藝和封裝，供應商利用龐大的半導體行業基礎設施，因此能夠快速供應，即使對于非標準頻率也是如此。

2. 溫度穩定性好：

• MEMS振蕩器利用高性能模擬溫補技術，具有優秀的全溫頻率穩定性，能夠解決傳統石英晶振的溫飄問題。

3. 制造成本低：

• MEMS振蕩器可以使用標準的半導體制造工藝，與集成電路的生產過程相似，從而降低了制造成本。

4. 簡化系統設計：

• MEMS振蕩器將諧振器和振蕩器/PLL IC集成到一個封裝中，無需外部電容器來調諧諧振頻率，簡化了系統設計。

綜上所述，MEMS振蕩器憑借其低EMI敏感度、強抗振性、頻率靈活性、快速供應、良好的溫度穩定性、低制造成本以及簡化系統設計的優勢，逐漸在多個應用領域中代替晶體振蕩器。