原標題：英諾賽科與ASML簽署合作協議，將批量購買高產能i－line和KrF光刻機

英諾賽科與ASML簽署合作協議，批量購買高產能i-line和KrF光刻機，這一合作對雙方都具有重要意義。以下是對該事件的詳細分析：

一、合作背景

1. 英諾賽科簡介：

• 英諾賽科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半導體硅基氮化鎵芯片制造的企業。

• 公司成功建成投產全球首條200mm硅基氮化鎵晶圓與功率器件量產生產線，主要產品包括200mm硅基氮化鎵晶圓及30V-650V氮化鎵功率器件。

2. ASML簡介：

• ASML是全球芯片制造設備領導廠商，其生產的XT400和XT860的i-line和KrF光刻機經過升級，能夠在硅基晶圓上制造氮化鎵功率器件。

• ASML的i-line和KrF光刻機憑借其獨特的TWINSCAN（雙工件臺）架構，能提供最卓越的性能、市場上最高的生產效率以及最低的成本。

二、合作協議內容

1. 合作目的：

• 英諾賽科與ASML簽署合作協議，旨在批量購買高產能的i-line和KrF光刻機，用于制造先進的硅基氮化鎵功率器件。

2. 合作時間：

• 該合作協議在2021年1月21日正式簽署。

3. 合作成果：

• 英諾賽科在2021年第二季度成功搬入首批光刻機，并實現了試生產和正式量產。

• 這一合作標志著第三代半導體制造技術正式進入了一個全新的紀元，英諾賽科成為全球首家在200mm晶圓生產線上應用ASML TWINSCAN（雙工件臺）光刻技術的企業。

  

三、合作意義

1. 對英諾賽科的意義：

• 提升了英諾賽科的生產效率和產品質量，加快了產品推向市場的速度。

• 助力英諾賽科在氮化鎵半導體行業中的蓬勃發展，提高了其市場競爭力。

2. 對ASML的意義：

• 擴大了ASML在硅基氮化鎵市場的份額，展示了其光刻機在第三代半導體制造中的優勢。

• 增強了ASML與中國企業的合作關系，為其在中國市場的發展奠定了堅實基礎。

四、未來展望

1. 英諾賽科的發展：

• 英諾賽科將繼續致力于第三代半導體硅基氮化鎵芯片的研發和生產，擴大產能和產品線。

• 預計英諾賽科在全球氮化鎵廠商中的市占率將持續攀升，有望成為全球領先的氮化鎵芯片制造商之一。

2. ASML的發展：

• ASML將繼續投入研發和創新，提升光刻機的性能和效率。

• ASML將加強與全球芯片制造商的合作，共同推動半導體產業的發展。

綜上所述，英諾賽科與ASML簽署合作協議并批量購買高產能i-line和KrF光刻機，對雙方都具有重要意義。這一合作不僅提升了英諾賽科的生產效率和產品質量，也擴大了ASML在硅基氮化鎵市場的份額。未來，雙方將繼續攜手共進，共同推動半導體產業的發展。