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如何測試晶圓

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如何測試晶圓?晶圓形狀變化：從圓到不圓

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晶圓作為半導(dǎo)體芯片的核心基底，其形狀精度（如圓度、平整度）直接影響芯片制造的良率與性能。以下從測試方法和形狀變化原因兩方面展開分析。一、晶圓測試方法晶圓測試貫穿制造全流程，重點包括以下環(huán)節(jié)：1. 幾何參數(shù)測試設(shè)備：高精度光學(xué)測量儀（如KLA-Tencor、Nova Measuring Instruments）。指標(biāo)：直徑：通過邊緣掃描確定......

如何測試... 晶圓

2020-11-12

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