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MEMS振動傳感器
MEMS振動傳感器
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MEMS傳感器是利用集成電路技術工藝和微機械加工方法將基于各種物理效應的機電敏感元器件和處理電路集成在一個芯片上的傳感器。具有體積小、質量輕、功耗低、靈敏度高、可靠性高、易于集成以及耐惡劣工作環境等優勢,從而促進了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網絡化的方向發展。