薄膜片式排阻
薄膜片式排阻
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現階段,片式排阻多為厚膜排阻,部分采用薄膜排阻,但厚膜電阻穩定性差,而薄膜電阻精度較高、穩定性較好,被應用在精密設備上;然而,現階段薄膜排阻元件對光刻掩膜需求較高,要根據電極、電阻留邊對應做出干膜貼合,普通貼膜工藝難以獲得覆蓋全面的濺射圖形,且排阻基片中的通孔也難以通過貼膜方式完整覆蓋。現有的薄膜排阻由于排阻基片中的通孔設計,傳統的印刷工藝形成的薄膜濺射掩膜遮蔽層,無法有效覆蓋排阻基片通孔內壁,從而造成因掩膜缺失而濺射錯位的情況
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