高頻化離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使氣體電離，一般用來產生低電荷態正離子，有時也從中引出負離子，作為負離子源使用。在高頻電場中，自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞，并使之電離。帶電粒子倍增的結果，形成無極放電，產生大量等離子體。高頻化離子源的放電管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。 [1] 高頻場可由管外螺線管線圈產生，也可由套在管外的環形電極產生。前者稱為電感耦合,后者稱為電容耦合高頻振蕩器頻率為10 ~10 Hz，輸出功率在數百瓦以上。從高頻離子源中引出離子可有兩種方式。一種是在放電管頂端插入一根鎢絲作為正極，在放電管尾端裝一帶孔負電極，并把該孔做成管形，從中引出離子流。