EUV光路
EUV光路
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當一說起芯片,很多人往往會提到光刻機。而一說起光刻機,很多人應該首先想到的就是總部位于荷蘭的光刻機大廠阿斯麥(ASML),覺得阿斯麥是一家非常了不起的公司,因為臺積電、英特爾、三星電子、中芯、格芯等晶圓制造大廠,無不仰賴阿斯麥的光刻機設備。特別是在行業處于領先水平的極紫外光刻機。 然而,鮮少有人知道的是,在阿斯麥的背后,卻站立著一家世界上非常偉大的公司,它就是總部設在德國的卡爾蔡司。如果沒有蔡司公司的光學鏡頭,那么阿斯麥的極紫外(EUV)光刻機便無從談起。目前,蔡司在全球擁有最多的極紫外光刻機專利,并已成為阿斯麥的合作伙伴之一,雙方之間有著十分緊密的關系。
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