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紫外線熱處理

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紫外線輔助熱處理是一種較為先進的薄膜改性技術,它把紫外線光能和熱處理結合起來,來改變薄膜的結構,提高薄膜的性能;文章主要介紹了它在應力薄膜和低k薄膜2個特定方面的應用.

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紫外線熱... 薄膜沉積反應離子...

2021-07-30

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