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制程排氣系統
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制程排氣系統是指鐵（氟）弗龍風管排氣系統風管工程中，由制程機臺至主管支管（Sub-main）間之連接風管，統稱二次配排氣風管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是將制程機臺所產生之各種廢氣（例如酸堿性廢氣、揮發性有機廢氣、一般性廢氣等等）經由二次配排氣風管排至排氣支管、主風管等再導入廢氣處理設備處理，處理后廢氣再排放至大氣中的整個排氣系統過程。

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制程排氣... MEP 臺積電
2021-08-25
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