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諧振微器件
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無線通信的發展要求系統中的無源器件小型化,以實現系統單片集 成.微加工技術制作的無源器件不僅可以滿足小型化要求,而且在300kHz到14.5MHz頻段內,其品質因子(Q值)可高達50 000.鑒于此,本文以表面加工技術,體加工技術以及鍵合技術制作的MEMS諧振器以及由它和耦合梁組成的濾波器為重點,介紹了它們的工作原理,設計和制 作方法,最后討論了在高頻范圍內制約MEMS諧振器件工作性能的因素.

中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支持多家芯片廠商實現量產
中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支持多家芯片廠商實現量產
中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺（SASFR?）在射頻芯片領域取得了顯著成就，已經支持多家設計公司實現射頻前端中高頻體聲波濾波器（BAW）的量產。以下是對該平臺的詳細分析：一、平臺概述SASFR?是中芯寧波全自主開發并擁有全套自主知識產權的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術。該平臺包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺以及后道晶圓級芯......
高頻體聲... 射頻前端 諧振微器...
2021-11-16
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