光罩設備
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光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的過程中,利用光蝕刻技術,在半導體上形成圖型,為將圖型復制於晶圓上,必須透過光罩作用的原理,類似于沖洗照片時,利用底片將影像復制至相片上。
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